Котрагированный разряд между катодами 1 и полым анодом 2 служит для генерации ионов газов и инициирования вакуумной дуги (в этом случае время его горения составляет 20 мкс). Ионы металлов генерируются в катодных пятнах вакуумной дуги, зажигающейся между электродами 2 и 3. Отбор ионов осуществляется с поверхности плазмы, стабилизированной мелкоячеистой металлической сеткой 4. Ускорение ионов до необходимой энергии происходит при подаче постоянного ускоряющего напряжения между полым анодом 2 и электродом 5. Последний выполнен в виде двух сеток из металлических проволочек с высокой геометрической прозрачностью. Пучок ускоренных ионов принимается коллектором на котором помещаются облучаемые образцы или детали. Для отсечки вторичных электронов, выбитых из коллектора ионами, на одну из сеток электрода 6 подается отрицательный потенциал величиной не менее 1.5 кВ. Изолятор 7 заполнен трансформаторным маслом. Охлаждение источника осуществляется холодной водой, циркулирующей через радиатор.
Основные технические характеристики
| Ускоряющее напряжение | 20-80 кВ |
| Токи разрядов: - вакуумной дуги - контрагированной дуги |
50-150 А 30-60 А |
| Токи пучка: - металлических ионов - газовых ионов |
0.1-0.5 А 0.1-0.25 А |
| Рабочие частоты повторения импульсов | 12.5, 17, 25, 50 Гц |
| Длительность импульсов тока | 400 мкс |
| Задержка момента зажигания вакуумной дуги относительно контрагированной дуги |
0-400 мкс |
| Площадь сечения ионного пучка | 250 см2 |
| Время работы вакуумной дуги без смены катода | 30 часов |
| Время работы котрагированной дуги без смены катодов | 100 часов |
| Напряжение в сети электропитания источника | 3х380 В |
| Избыточное давление сжатого газа в источнике | 2-10 атм. |
Источник может генерировать пучки ионов любых газов (за исключением кислорода) и металлов.
Контактная информация
Юшков Георгий Юрьевич
д.т.н., ведущий научный сотрудник
gyushkov@hcei.tsc.ru
+8 3822 491776
