Использование плотной однородной плазмы, генерируемой несамостоятельным дуговым разрядом низкого давления с накаленным катодом, является важным фактором интенсификации и стабилизации технологических процессов ионно-плазменного осаждения функциональных покрытий на материалы и изделия.
Основные параметры | |
---|---|
Ток разряда | 10—100 А |
Напряжение горения | 40—60 В |
Рабочее давление | 0,05—1 Па |
Концентрация плазмы | 109—1010 см-3 |
Габариты | ø300—500 мм |
Плазмогенератор "ПИНК" может использоваться как независимо для создания плотной однородной плазмы в больших вакуумных объемах, так и использоваться для модернизации промышленных технологических установок (типа ННВ 6.6-И1, ВУ-1Б, ВУ-2 и др.) для реализации комплексных технологий поверхностной обработки изделий, что существенно расширяет технологические возможности серийного оборудования и, соответственно, номенклатуру обрабатываемых изделий.
а также другие отрасли промышленности, где требуются технологии упрочнения и защиты поверхности материалов и изделий.
Ахмадеев Юрий Халяфович
зав. лабораторией,
кандидат технических наук
тел.: (3822) 49-17-13
сот.: +7-923-408-62-84
факс: (3822) 49-24-10
E-mail:
ahmadeev@opee.hcei.tsc.ru