Соискатель: АХМАДЕЕВ Юрий Халяфович
Тема диссертации: НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНЫЙ ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД С ПОЛЫМ КАТОДОМ ДЛЯ АЗОТИРОВАНИЯ ТИТАНА
Шифр совета:
Д 003.031.01
Вид диссертации: кандидатская
Специальность: 05.27.02 – вакуумная и плазменная электроника
Работа выполнена: в Федеральном государственном бюджетном учреждении науки Институте сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук.
Дата защиты: 10 апреля 2007 г.
Место защиты: г. Томск, пр. Академический, 2/3.
Соискатель | АХМАДЕЕВ Юрий Халяфович |
Тип диссертации | кандидатская |
Отрасль науки | технические науки |
Тема диссертации | НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНЫЙ ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД С ПОЛЫМ КАТОДОМ ДЛЯ АЗОТИРОВАНИЯ ТИТАНА |
Шифр научной специальности: | 05.27.02 – вакуумная и плазменная электроника |
Дата размещения объявления | 06.03.2007 |
Дата защиты | 10.04.2007 |
Автореферат | (06.03.2007) |
Место проведения защиты | Институт сильноточной электроники СО РАН
634055, г. Томск-55, пр. Академический, 2/3. ИСЭ СО РАН |
Телефон | (382-2) 492-586 |
pegel@lfe.hcei.tsc.ru |