СОЛО
Электронно-пучковая установка
Вакуумная электронно-пучковая установка «СОЛО», в основе которой лежит электронный источник с плазменным катодом на основе импульсного дугового разряда низкого давления с сеточной стабилизацией границы катодной плазмы.
ДУЭТ
Электронный источник с пучком большого сечения
Установка «ДУЭТ» предназначена для генерации широкоаппертурного 15×75 см2 электронного пучка, выведенного через фольговое выпускное окно в атмосферу или газ высокого давления.
ТРИО
Вакуумная ионно-плазменная установка для азотирования
Вакуумная ионно-плазменная установка «ТРИО» использует три уникальных плазмогенератора для синтеза газовой и металлической плотной плазмы, используемой для модификации поверхности материалов и изделий.
ЭЛИОН
Вакуумная ионно-плазменная установка для обработки крупногабаритных и протяженных деталей
Установка предназначена для модификации поверхности материалов и изделий: элионного азотирования, ионно-плазменного травления и нанесения функциональных слоев и покрытий на крупногабаритные и протяженные детали
КВИНТА
Ионно-плазменная установка для комплексной обработки поверхности материалов и изделий
Автоматизированная вакуумная ионно-плазменная установка «КВИНТА» используется для нанесения различных покрытий и ионно-плазменной обработки образцов и изделий.
КОМПЛЕКС
Установка электронно-ионно-плазменного инжиниринга поверхности материалов и изделий
Данная установка включает в себя все отдельные виды плазменной, ионной и электронной обработок, отработанные на разработанных в лаборатории плазменной эмиссионной электроники ИСЭ СО РАН электрофизических установках «ТРИО», «КВИНТА» и «СОЛО».
